MEMS即微机电系统是目前工程技术与科学研究的前沿之一。为活跃校内MEMS研究的学术气氛，能使校内广大师生了解国内外MEMS技术及其相关领域的发展现状，也能使广大师生认识运用萨本栋微机电研究中心的先进设备作为平台来为研究与开发服务，萨本栋微机电研究中心特举办MEMS技术系列讲座，讲座每月一期，共计十期。

MEMS技术系列讲座是由中心近期引进的美国康乃尔大学博士后研究员郭航博士组织的。讲座先由萨本栋微机电研究中心的教授与工程技术人员讲授，再逐步邀请国内外的著名学者来做报告。

现将前10个讲座报告列出。讲座地点在萨本栋微机电研究中心的302会议室。时间将另行通知。

讲座1：美国MEMS技术的研究发展状况介绍

郭航副教授 萨本栋微机电研究中心

讲座2：微电子与大规模集成电路技术介绍

郭航副教授 萨本栋微机电研究中心

讲座3：微型核电池与微能源技术

郭航副教授 萨本栋微机电研究中心

讲座4：CMOS集成温度传感器

吴孙桃教授 萨本栋微机电研究中心

讲座5：萨本栋微机电研究中心的设备介绍

张玉龙工程师 萨本栋微机电研究中心

讲座6：微型原子钟

郭航副教授 萨本栋微机电研究中心

讲座7：微型燃料电池

郭航副教授 何晴工程师 萨本栋微机电研究中心

讲座8：RF MEMS 的研究发展近况

郭航副教授 黄暄工程师 萨本栋微机电研究中心

讲座9：纳米电子束曝光机与纳米图形发生器

顾文琪研究员 中国科学院微纳米技术首席科学家

讲座10：生物微纳米颗粒的超声分离

郭航副教授 萨本栋微机电研究中心