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福建日报:嘉庚创新实验室:研发步伐再提速
发布时间:2021年12月26日 来源:福建日报

近日,在位于厦门大学翔安校区能源材料大楼的无噪声实验室内,工程师吴晓威操作仪器,将材料样本送进“三束流聚焦离子束加工与表征系统”内进行失效分析。这个实验室能够营造一个近乎“无声静止”的世界,以小于百纳米/秒的振动护航高精尖仪器最大限度发挥作用,实现超高精度的微纳加工和极致精度的测量表征,是科研人员“梦寐以求”的工作环境。

作为嘉庚创新实验室建设的公共支撑平台之一,这个无噪声实验室是亚洲首个无噪声精密加工和表征实验室,为未来纳米尺度下顶尖基础科学研究和工程技术创新提供接近理想条件。目前,无噪声实验室不仅成为厦大师生开展研究的重要平台,三安光电、宸鸿科技等一批光电、半导体、新材料、仪器装备方面的龙头企业也利用该实验室推进关键核心材料研发。

创新是经济发展的第一动力,厦门正通过加快建设重大创新载体,不断提升创新链能级。作为我省首批四家省创新实验室之一,嘉庚创新实验室以国家级实验室为目标,围绕攻克“卡脖子”技术、落地产业化成果,正不断推进能源材料领域的战略科技平台建设和关键核心技术突破。

“除了无噪声精密加工和表征实验室可提供当前全球极限精度的测量与加工条件,嘉庚创新实验室还建设了1000余平方米的微纳加工中心,可支撑半导体、集成电路和新材料等重点产业发展。”嘉庚创新实验室副主任助理郭奇勋介绍,实验室打造的高端设施平台新增设备总值近2亿元,可支持“计算模拟—材料制备—微纳加工—分析表征”全流程研发,已为20余家知名校企提供技术服务。

“先进研发设施是实验室项目开展和企业技术创新的有力支撑,在现有能力的基础上,开展公共支撑平台二期能力建设,如大面积、亚十纳米加工精度的电子束光刻机、空间分辨率达到亚埃级的双球差校正透射电子显微镜、高通量智能仿真模拟系统等。”郭奇勋说。

此外,聚焦国家战略需求和地方产业发展,嘉庚创新实验室能源材料领域关键核心技术的研发也在马不停蹄地开展着。

(本报记者 林丽明 杨珊珊)


【责任编辑:宣传部外宣】
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